硬損傷又稱“突發(fā)性完全失效”、“一次性損壞”，比例約占10%。表現(xiàn)為器件電參數(shù)突然劣化，失 去原有功能。主要原因是靜電放電造成過壓使得介質(zhì)被擊穿，或過流使得內(nèi)部電路金屬導(dǎo)線熔斷、硅 片局部融化等。硬損傷可通過常規(guī)的性能測試手段及時發(fā)現(xiàn)，相對軟失效而言危害要小得多。 

軟損傷又稱“潛在性緩慢失效”、“多次損傷累積后失效”，比例約占90%。受到軟損傷的器件，雖然 當(dāng)時各類電參數(shù)仍合格，然而其使用壽命卻大大縮短了。含有這些器件的產(chǎn)品或系統(tǒng)，可靠性變差， 可能會在后續(xù)過程中（直至終用戶）繼續(xù)遭受ESD軟損傷或其它過應(yīng)力損傷積累而過早地失效。由于 軟損傷是潛在的，運用目前的技術(shù)還很難證明或檢測出來，特別是器件被裝入整機(jī)產(chǎn)品之后，因此具 有更大的危害性。這些產(chǎn)品流入市場后的維護(hù)成本和造成的其它損失，將比在生產(chǎn)中發(fā)生的直接損失 要放大幾十甚至上百倍。